温州氦质谱检漏仪供应厂家 上海睿德励柯仪器仪表供应

氦检仪在压力容器中的常用方法：喷氦法，喷氦法是常用，比较方便的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷头向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦氦检仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。氦罩法，这种方法使用一个检漏罩（塑料薄膜等）把被检容器包起来，先排除罩内空气，然后充入氦气或氦气的混合气体，氦检仪与被检容器内部连接，当氦检仪有漏率显示时，说明有泄漏。这个漏率称为总漏率。总漏率为各个分漏率之和；总漏率不超标准值，则各个分漏率也不超标准值；总漏率超过标准值，则检查各个点的分漏率是否超过标准值。然后再对超过标准值的漏孔进行修补，直至达到合格标准为止。氦质谱检漏仪的保养项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。温州氦质谱检漏仪供应厂家

氦检仪现已普遍应用于半导体设备检漏。半导体设备及材料需要检漏原因：1、半导体设备要求高真空，比如磁控溅射台、电子束蒸发台、ICP、PECVD等设备。出现泄漏就会导致高真空达不到或需要大量的时间，耗时耗力；2、在高真空环境洁净度高、水蒸气很少。一旦出现泄漏周围环境中的灰尘和悬浮颗粒或尘埃就会对晶元造成污染，对半导体的特性改变并破坏其性能，因此在半导体器件生产过程中必须进行氦质谱检漏；3、一些半导体设备要用到有毒或有腐蚀性的特殊气体，经过氦质谱检漏后，在低漏率真空条件下，这些气体不易外泄，设备能及时抽走未反应气体和气态反应产物，保障工作人员安全和大气环境。4、芯片封装，一旦出现泄漏，芯片就会失效。综上所述，氦检仪在半导体行业起着至关重要的作用。马鞍山客制化氦质谱检漏仪检漏过程中，如发现大量氦气进人氦质谱检漏仪，应立即移去吸口。

氦检仪的组成部分有哪些？真空系统，仪器的真空系统提供质谱正常工作所需要的真空条件，不同型号的氦检仪其真空系统有较大的差别。真空系统一般包括：1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。抽速与主泵匹配。3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。

氦检仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。影响氦检仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现氦检仪的灵敏度降低，而氦检仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定氦检仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。马鞍山客制化氦质谱检漏仪

为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。温州氦质谱检漏仪供应厂家

氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到只对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。温州氦质谱检漏仪供应厂家