氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少,需要参照物,这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识:(1)前级真空泵的定期换油及深度保养;(2)电磁阀组的超声清洗;(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。绍兴多功能氦质谱检漏仪哪家好
氦检仪开机如何操作?1、将总电源转到“前级泵”,低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa,开抽速阀,开漏孔开关,表头示值也应能抽到原来位置,再关抽速阀。2、将总电源转到“扩散泵”,灯亮,扩散泵开始加热。3、等20分钟左右,扩散泵排气管应热,开冷规开关,“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。4、开抽速阀,过几分钟后开冷规,表头指针应从左打向右,再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规,可等一会儿再开),当真空示值超过1×10-2Pa后,可启动灯丝,灯亮,“发射电流”有指示,开、关漏孔检查氦检仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda),灵敏度达要求后关漏孔。将工件用外接泵抽上真空后,开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间,对工件喷氦检漏。检漏完,关节流阀。苏州小型氦质谱检漏仪工作原理氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种。
氦质谱检漏仪常见的几种检漏法:1、负压法检漏,负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同,需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具。2、压氦法检漏,压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后连至检漏仪将其抽空,示踪气体通过漏孔泄漏出来,经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。
氦检仪常用的几种检漏方法:氦质谱检漏方法较多,根据被检工件的测量目的可分为两种类型,一种是漏点型,另一种是漏率型;在实际检验过程中,应根据检验目的选择较合理的方法,并根据被检件的具体情况灵活运用各种检漏方法。测定漏点型氦质谱检漏方法。确定漏点型既是确定要检部件的具体漏点或漏孔的位置,在大部件或大型部件中较为常见,如卫星、导弹弹体、弹头、输气管道、气罐、油罐、锅炉等。喷氦法氦质谱检漏方法。喷氦法又叫喷吹法,较常用、较方便的检漏方法。一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷头喷氦。氦检仪的实际应用方案很多,常用的三种检漏方法有负压法(抽真空),正压法(吸入法)和背压法(压氦法)。
影响氦检仪灵敏度的因素有哪些?氦检仪检漏时,产生测量误差的主要来源主要包括8个方面:第1,氦检仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,即,标准漏孔与被检漏孔至氦检仪的距离相差太大,漏入氦气在途中损失不相等,这会导致经二者进入氦检仪的氦气量可比性差。第二,进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。第三,所用标准漏孔的标称漏率有误差。第四,氦检仪输出指示与漏率的线性关系差。第五,校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。第六,氦检仪的性能不稳定。第七,氦气纯度不稳定或存在误差。第八,之后也就是检漏操作人员的因素,包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。氦检仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高,用得普遍的氦检仪器。氦检仪内部配有一台旋片式真空泵,用以维持仪器内部的高真空。金华无损氦质谱检漏仪价格
氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局。绍兴多功能氦质谱检漏仪哪家好
氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理,用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所,特别是仪器的电源插座,应符合要求,要有良好的地线,左右要留有30CM的通风间距。放置好氦质谱检漏仪,以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。氦质谱检漏仪的底部有安装孔,可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够,机械泵油必须用特定的针对机械泵型号的油。绍兴多功能氦质谱检漏仪哪家好
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